参数拟合一般操作过程:
载入基底,可以使用标准基底库数据(File__Catalog__Substrate,选择基底材料单击Transfer,则在当前数据库中基底栏出现选中的基底材料,双击载入)
也可以通过拟合测量的基底光谱特性曲线得出基底的实际光学参数(将测量的基底光谱特性曲线载入到当前数据库中测量栏即Database-Measurements中,双击载入该测量数据,需要注意的是在Characterization__Option选项中定义正确的基底厚度,
再Characterization__ Substrate Characterization选项打开Substrate Characterization Setup窗口,输入折射率和消光系数大致范围并选择正确的折射率和消光系数类型的组合,单击OK,
再Data__ Substrate to Database选项将拟合的基底光学参数载入到当前数据库中基底栏中)
载入镀制单层膜后的测量光谱曲线数据,单击View__Data Fitting,查看基底光谱曲线和镀制单层膜后的测量光谱曲线的初始拟合情况,(若是后者的极值点都落在前者上则说明该单层膜是均一的膜,否则就说明该单层膜是均一的膜且其在后面的拟合时最后需要考虑不均一度的参数拟合。)
再进行单层膜的参数拟合:单击Characterization__Layer Characterization选项,打开Layer Characterization窗口,输入单层膜的厚度、折射率和消光系数大致范围并选择正确的折射率和消光系数类型的组合,单击OK,再根据实际情况是否再进行考虑其它因素的拟合,如不均一度的参数拟合(单击Characterization__Layer Refinement打开Refinement Setup窗口加入考虑不均一度的拟合)等。
关于测量光谱特性数据的导入操作:
对于Excel数据则可使用复制-粘贴(Ctrl+C和Ctrl+V)将每一列数据直接拷贝到相应栏。
对于Text文本文件数据、X/Y文件数据、分光光度计数据和椭偏仪数据,其载入过程分别如下:
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