例4.斜入射和薄层清除
参数为:400-700nm AR 取40个线性光谱点 考虑0、30、45度入射角; 基底:GLASS(1.52) ;
层材料: ZnS(2.35),MgF2(1.38),SiO2(1.45),ZrO2(1.95),Al203(1.65).
设计:打开工作文件目录,再打开Datebase-Target窗口,Data_Target,新建新设计目标AR400-700,输入设计目标400-700nm范围的减反膜,0、30、45度入射s和p偏振光:
在特性参数中选择RS和RA,
输入40个光谱点数,考察波长范围400-700nm,如图:
设定入射角度,单击Angle,出现角度输入窗口,输入角度数目为3,
单击Apply,再单击OK。
Load新建的设计目,新建并Load基底和层材料,查看评估图,
采用渐近优化方法来优化设计,设定中止条件为最大物理厚度1000nm(可以根据实际要求自己设定中止条件),
将鼠标放在厚度颜色条上即可看所采用的材料(缩写),而查看并修改材料缩写及材料是否启用为:Data_Arrange Materials(或在图上单击右键选中Materials),出现分析选项窗口,
从中可看出各中层材料的缩写(Abbr栏)也可修改其缩写,State栏中Active表示材料已启用,Passive表示材料被禁用。现在我们仅采用H和L两种材料做同样设计,将A、B和C三种材料状态改为Passive,单击Apply,再清除已完成设计,Data_Remove Design,然后再采用渐近优化方法来优化设计,如图我们可以看到可用材料仅剩H和L,
Analysis_Refractive Index Profile,可查看厚度方向折射率剖面图
由上图可看出薄膜设计结果存在一些薄的膜层,在OptiLayer中我们可通过清除合并薄的膜层以减少薄膜层数。Synthesis_Thin Layer Removal,
它有自动和手动两种方式,自动优化方式设定中止条件(1)差异函数允许最大波动范围(2)允许清除最大薄层厚度。可以选两者之一也可都选。现我们采用自动优化方式,差异函数允许最大波动范围5%,
我们还可通过Synthesis_Design Cleaner进一步清除薄层,
关于薄层清除我们可以参考Problem中的设计示例LEC03D6,当层数减少10层时,差异函数值增大不超过2%,如图:
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