刘黎明 杨培志 杨瑞宇 莫镜辉
(昆明物理研究所，云南昆明650223 )

摘要介绍了混成式热释电焦平面探测器的基本结构和主要制备工艺流程以及国内外研究现状。混成式热释电焦平面探测器的关键制备技术主要包括热释电材料的优选与减薄技术，钢柱倒装焊混成技术、热隔离技术和读出集成电路技术等。指出了混成式热释电焦平面探测器的发展趋势。

关键词红外探测器;热释电;非制冷焦平面探测器;混成式技术;羊片式技术

中图分类号TN215 文献标识码A