张小元 岳邦强 王呜
(南京师范大学物理科学与技术学院，江苏省光电技术重点实验室，江苏南京210097 )

摘要基于激光自混合干涉技术的特点，设计了一种新型半导体激光自混合干涉测振仪系统。系统将频率调制引入自混合干涉中，实现对振动物体的非接触式测量。介绍了激光自混合干涉测振仪的原理、仪器系统的光路系统设计、信号的调制模块设计、解调模块设计以及DSP 系统的采集处理模块设计。该仪器体积小、成本低、易于准直、可以非接触式测量，能够测量振动频率在50 kHz 内的物体，其中包括非周期性振动。可以测量出振动物体的振动频率、振幅以及还原振动波形，振动幅度测量精度可以达到o. 325μill ，频率精度为1 Hz 。

关键词激光;自混合干涉;现1 振仪; DSP 系统

中图分类号TN249 文献标识码A