苗心向 袁晓东 王海军 向霞 吕海兵 蒋晓东 郑万国
(中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳621900 )


摘要采用人工溅射的方式分别在熔石英基片上镀制了光学厚度相近的铜膜和铁膜污染物。研究了熔石英基底在355 nm 波长的激光损伤阅值。分别采用透射式光热透镜技术、椭偏仪、原子力显微镜和光学显微镜研究了两类薄膜的热吸收、膜层厚度、表面微观形貌以及激光辐照后薄膜的损伤形貌。实验结果表明:熔石英表面的金属膜状污染物均导致基片损伤阅值下降，位于前表面的污染物引起的损伤阂值下降更为严重，约为23% 。两种污染物薄膜引起基底的损伤形貌、基底损伤阅值的下降幅度与薄膜的热吸收系数与微观结构有关。从热力学响应角度，结合损伤形貌对污染物诱导熔石英表面形貌的损伤机理进行了讨论。

关键词激光损伤阂值;熔石英;污染物;损伤形貌

中图分类号0437 文献标识码A