帅高龙 苏俊宏 杨利红 徐均琪
(西安工业大学光电工程学院，陕西西安71 0 0 3 2 )

摘要在研究二维FFT法进行干涉测试基本原理的基础上，提出一种基于二维FFT的薄膜厚度测量新方法。利用搭建的泰曼一格林型干涉系统，用CCD接收、采集卡采集，可获得被测膜层的干涉条纹图像。编制算法处理软件，可实现对干涉条纹图中薄膜边缘识别、区域延拓、滤波、波面统一等的处理，从而获得带有薄膜信息的面形分布，实现对薄膜样片厚度的自动化测量。研究结果表明:所测薄膜厚度的峰谷值为0 . 2 5 6，1. ， 均方根值为0 . 0 6 8，1. ， 说明采用基于FFT 的薄膜厚度干涉测量新方法测量薄膜厚度具有较高的精度。

关键词干涉图;薄膜厚度;二维FFT ;滤波窗

中图分类号TN2 47文献标识码A