刘黎明1 杨培志1 ， 2 莫镜辉1
( 1 昆明物理研究所，云南昆明650223;2 云南师范大学可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验室，云南昆明650092 )

摘要

利用X 射线光电子能谱(XPS) 分析了ITO 靶材黑化物的化学组成，结果表明黑化物由In 、Sn~O 和C 组成，相对原子百分含量In 为4.35% ， Sn 为2.74% ， 0 为52. 65% , C 为10.26%;In 、Sn 处于亚氧化状态;c 有部分氧化。与原始靶材相比，黑化物的元素组成和化学状态发生了明显的变化。择优溅射最可能引起成分比例失常，真空残余的含C 气体和泵油蒸汽被认为是污染C 的直接来源。

关键词氧化钢锡靶材;黑化物;X 射线光电子能谱
中图分类号TF124 文献标识码A