郑国兴 李笑 刘莎莎 李莹 郭想 李松 周辉
(武汉大学电子信息学院，湖北武汉430079 )

摘要针对达曼光栅的数据写入问题，提出了一种快速边界识别算法(FBIA) 用于复杂二元光学图形掩模的CIF 格式数据的生成。该算法首先识别出达曼光栅图形的边界点，然后按照左手原则对边界点进行排序并构成闭合曲线。针对闭合曲线中可能出现的"孤岛"，该算法可自动识别并依据其数量对图形重新分割取点。结果表明FBIA 算法具有搜索快、效率高等优点，可广泛应用于各种二元位相型元件CIF 格式掩模板数据的生成。

关键词达曼光栅;边界识别算法;掩模

中图分类号TN29 文献标识码A